18B研磨拋光機主要適用6英寸（含）以下硅片雙面精密研磨加工，同時適用于光學玻璃，石英晶片，寶石片，鈮酸鋰，陶瓷片及其他硬脆材料的雙面研磨加工或拋光。

主要特點：

  1.進口變頻器配合變頻電機拖動，實現了軟啟動，軟停止，調速穩定，沖擊小。
  2.采用二電機同步拖動，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適用不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
  3.單獨電機抬升內齒圈，并在總行范圍內隨意停留，滿足了取放工件及調整游星輪嚙合位置的要求。通過調節太陽輪座上的三組不同的厚度的不銹鋼片改變太陽輪高度，調整方法簡便。
  4.采用國內先進的防腐技術對齒圈座的下磨盤座進行處理，大大提高了其耐蝕性，繼而也提高并能長期保證底座安裝精度。
  5.電氣系統采用可靠性高的PLC實現。氣動系統全部選用高品質的知名品牌元件，主氣缸為精密低摩擦力氣缸，壓力調整采用高動態特性的進口電氣比例閥元件。
  6.壓力調整采用電氣比例閥與拉力傳感器實現了閉環反饋控制，其靜態調整精度＜2Kg,動態壓力波動＜30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工穩定性，進而確保提高元件加工精度及合格率。
  7.人機界面（HMI）顯示與PLC主控制器結合，一方面顯示運行參數，另一方面通過其他觸摸鍵調整設定各項參數，主操作由普通鍵鈕完成。
  8.采用自動潤滑裝置，用戶可根據自己的使用情況，設定自動潤滑時間，使機器的各相對運動表面，齒輪嚙合部位得到充分潤滑，大大提高了整機的使用壽命。
  9.研磨機配置了高精度的測厚裝置，工件加工的動態情況通過HMI隨時可見。
  10.可根據用戶的加工工藝要求，選裝拋光液溫度調節裝置（單制或雙制均可）。

主要技術參數

磨盤轉速： 0~60rpm
游行輪參數：公制M=3，Z=154，a=20°
游行輪數量：5個
最小研磨厚度：5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
最大可控研磨厚度：20mm（可根據要求特殊定制）
最大研磨直徑：Φ400mm
主電機：15KW4級三相AC380V
太陽輪電機：1.5KW4級三相AC380V
內齒圈電機：1.5KW4級三相AC380V
氣源：0.5~0.7Mpa
外型尺寸：2500×1650×3000mm
機器重量：~7000kg
砂泵電機（帶攪拌）：4KWAC380V
主機精度
下研磨盤端面跳動：0.08mm
淹沒面平面度：0.02mm
太陽輪徑向跳動：0.20mm
內齒圈徑向跳動：0.25mm
加工精度（四個修正輪修研后）
一致性：0.008mm
平面度：0.005m
平行度：0.006mm
加工能力
單片承片量：Φ1704片，Φ2002片
整盤承片量：Φ17020片，Φ20010片